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        產品展示| PRODUCT
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        光刻機專用UV-LED光源

        光刻機專用UV-LED光源

        ① 曝光面積: 4'', 6'', 8''
        ② 波段: 365nm, 385nm, 395nm, 405nm
        單波段和雙波段耦合
        ③  有效工作面積:
        4'': 110*110mm
        6'': 160*160mm
        8'': 200*200mm
        ④  不均勻性: ≤4%  (max-min)/ (max+min) *100%
        ⑤ 光強/能量值:
        4'': >100mw@365nm  25A
        6'': > 50mw@365nm   25A

        8'': 25-50mw@365nm 25A

        ⑥ 平行半角:

        4'': ≤1.8°

        6'': ≤1.3°

        8'': ≤1.2°-2°

        ⑦ 工作距離: 100-350nm

        ⑧ 水冷方式

        豫公網安備 41072102000587號

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